工业设备商场中，80%比例为晶圆处理设备，在此环节中，清洗进程约占全体进程的33%，清洗设备对生产线的良率和经济效益均起着至关重要的的影响。

　　作为国产半导体清洗设备“三剑客”之一，至纯科技受到了出资组织的重视，日前迎来了浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券等一众出资组织调研，谈及其半导体清洗设备范畴布局。

　　至纯科技树立于2000年，致力于为高端先进制作业企业供给高纯工艺体系的解决方案，2018年上半年其半导体职业收入占比为69.4%，客户包含上海华力、中芯世界、长江存储、合肥长鑫、士兰微等企业。

　　相较于盛美半导体和北方华创，至纯科技进入半导体清洗设备范畴的时刻不算长，据悉其于2015年开端发动湿法工艺装备研制，2017年末树立独立的半导体湿法事业部。

　　据至纯科技在调研活动中泄漏，其湿法事业部现在共有职工近40人，未来团队规划有望到达300~400人。其间，槽式清洗设备首要引入日本团队近20人，团队人员均有世界大厂相关经历；单片式清洗设备则与海力士专属供货商——韩国公司MUJIN协作，两边均奉献技能、同享IP。

　　至纯科技表明，现在槽式清洗设备是在日本制作，将来会放在启东新厂。据悉，至纯科技启东新厂占地100亩、规划两期，产能奉献首要在体系集成和湿法制作，达观估量10月份部分交给使用，下一年下半年产能有望开端开释，但达产仍需进程。

　　启东基地产能开释后，至纯科技估量高纯体系集成方面的产能将是现在的4~5倍，清洗设备一期规划产能则为年产48台。依据至纯科技2017年年报提出的方针，未来5年内完结清洗设备累计出售200台。

　　值得一提的是，现在至纯科技湿法槽式清洗设备已获得6台的量产订单，客户是中芯世界和万国半导体，9月下旬交给两台，达观估量本年第四季度或下一年第一季度承认收入。依据本身产能及工业链调研状况，至纯科技以为其2019年清洗设备新增订单规划将在20台水平。

　　至纯科技表明，公司在半导体清洗设备范畴的方针很清晰——便是做进口代替，对标的是世界半导体设备巨子Lam Research和DNS，方案从零配件到整机，从高端产品到全产品掩盖，逐步完结国产化。

　　数据显现，2017年全球半导体清洗设备商场规划为27亿美元，跟着工艺节点的晋级以及良率要求进步，清洗设备用量需求将继续添加，估量2020年将到达35-40亿美元，其间我国商场有望打破600亿元人民币。

　　据悉，清洗设备在晶圆制作设备中的收买费用占比约为5%。至纯科技指出，从清洗设备的装备量来看，以4万片产能的产线寸线寸线台设备左右，包含槽式和单片，国外有的厂商可以到达120台清洗设备水平。

　　价格方面，市面上最廉价的单片清洗设备是两个腔体的50-60万美元，6-8个腔体的单片式清洗设备的价值大约300-400万美元，槽式价格100-200万美元商场价格，一个Fad厂在清洗设备上收买费用需求约2亿美元。

　　纵观全球清洗设备商场，日系企业占有主导地位，DNS、Tokyo Electron别离占有约60%、30%商场比例，剩余的则由美国Lam Research、韩国SEMES等企业分割，我国企业与世界水平仍有较大距离。

　　至纯科技表明，现在国外单片式清洗设备已开展到12个、16个腔体了，腔体越多、对应的隶属设备的介质供给也越多，可需求满意智能化、软件操控、压力平等和清洗后的寄存等需求。而国产清洗设备，以品种很多的湿法清洗设备为例，从品种和功能上国产设备现在完结只要其间的10%。

　　国内的清洗设备企业除了至纯科技外，首要厂商还有盛美半导体和北方华创，这“三剑客”正在经过各自的方法开展壮大。

　　盛美半导体树立于1998年，一向主攻单片式清洗设备，具有首创的兆声波清洗（SAPS）技能、通电气泡震动兆声波清洗（TEBO）技能，是国内仅有进入14nm产线验证的清洗设备厂商，在技能上已具有与世界企业竞赛的实力。

　　在产品上，盛美半导体会集在根据SAPS和TEBO技能的单片清洗设备，近三年营收占比均超越70%；客户方面，盛美半导体与海力士有着长时间协作关系，并已进入长江存储、中芯世界、华力微电子、长电科技等企业生产线。

　　虽然盛美半导体在国内清洗设备工业处于领先地位，但与世界巨子比较，其在规划、产品系列数、赢利和研制投入绝对值上尚不在一个量级。

　　另观北方华创，与盛美半导体长时间经过自主立异主攻单片清洗设备不同，北方华创作为国内具有最丰厚产品线的半导体设备企业，其清洗设备产品掩盖了单片和槽式。

　　2017年8月，北方华创以1500万美元收买了美国半导体清洗设备企业Akrion，该买卖已于本年1月宣告正式完结交割。Akrion在清洗设备方面具有多年的技能堆集和客户根底，进一步丰厚了北方华创的产品线。

　　到现在，北方华创在清洗设备范畴，现已构成包括使用于集成电路、前辈封装、功率器材、微机电体系和半导体照明等半导体范畴的8-12英寸批式和单片清洗机产品。

　　盛美半导体走自主立异之路，北方华创结合立异与吸收、收买，至纯科技则根据本身优势与世界厂商协作，三者均已获得必定成果，但全体而言，国内清洗设备国产化仍有很长的路要走。

　　不过，跟着半导体工业显着向我国搬运，国产清洗设备企业将迎来杰出的机会。至纯科技在调研中提及，其与下流客户的交流成果来看，2018-2019是建厂高峰期，2019-2021是设备的高峰期，全体职业正进入清洁设备收买期。

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