金融界2024年12月11日音讯,国家知识产权局信息数据显现,卡尔蔡司SMT有限责任公司获得一项名为“用于确认微光刻光学系统的光学元件的加热状况的办法和设备”的专利,授权公告号 CN 112513739 B,请求日期为 2019年5月。
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