金融界2025年1月4日音讯，国家知识产权局信息数据显现，卡尔蔡司SMT有限责任公司获得一项名为“半导体光刻的具有改善的部件调理的投射曝光设备、以及调理办法”的专利，授权公告号CN 111602091 B，请求日期为2018年12月。

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