至纯科技成立于 2000 年，首要从事高纯工艺体系和半导体湿法清洗设备的研制、 出产、出售及技能服务。高纯工艺体系事务包含为电子、生物医药及食品饮料等职业的 先进制作业企业供给高纯工艺体系的全体处理方案，以及进行高纯气体供给设备和高纯 化学品运送设备的出售。半导体配备产品首要包含湿法槽式清洗设备和湿法单片式清洗 设备，广泛运用于集成电路、平板显现等范畴。2012 年-2019 年事务收入从 1.37 亿元增 长到 6.37 亿元，复合增速为 25%，归于供给稳健添加现金流的事务板块。

　　事务草创期(2000-2005):这一阶段公司事务首要以工程分包为主，事务规划小， 客户职业结构涣散。此阶段首要客户有:上海朝晖药业、上海交大昂立生命、江苏南大 光电、空气化工等。

　　规划成型期(2005-2008):公司开端成为高纯工艺体系全体处理方案供给商，树立 了在高纯工艺体系规划方面的优势，盈余才能与商场方位显着进步。此阶段客户散布于 医疗职业，逐步向光伏职业开展，首要客户有:扬子江药业、华瑞制药、浙江震元制药、 威风药业、晶澳太阳能、中电电气等。

　　技能成熟期(2008-2011):公司加强研制投入，成功完结了多项高纯工艺体系中心 设备及相关操控软件的研制。公司于 2008 年底要点布局光伏职业，首要客户有:晶澳 太阳能、英利动力、浙江晶科等。

　　事务安稳时(2011-2015):事务才能与支撑体系掩盖多个下流，盈余才能稳步进步。 此阶段公司客户结构多元化，首要客户有:上海新进芯微电子、扬子江药业、国星半导体、中美华东制药、中谷光电、华瑞制药、晋能集团、和辉光电、国健药业、易健生物 等。

　　结构转型期(2015 至今):2015 年公司开端布局湿法工艺设备事务，2018 年经过收 购波汇科技进军光电子范畴，现在已完结“半导体+生物制药+光电子”三板块战略部署。 此阶段客户首要向半导体职业歪斜，首要客户有:上海华力、中芯世界、长江存储、合 肥长鑫、北京燕东、华润、华为、麦特达等。

　　外延并购完结事务扩张。2017 年 8 月，公司收买制药职业自动化处理方案供给商珐 成制药 59.13%股权，进一步进步公司高纯工艺事务在医药范畴的商场竞赛力。2018 年 3 月，公司收买波汇科技 100%股权，进军光传感及光电子元器材范畴，绝地经过技能协 同效应，公司产品技能与商场竞赛力得到进一步进步。22020 年 4 月，公司完结了对珐 成制药 100%的股权收买，并整合了与珐成制药模块化和数字化战略构成协同才能的广 州浩鑫。在上市三年内完结了树立“半导体+生物制药+光电子”三个板块的战略部署。

　　公司高纯工艺龙头方位安定。高纯工艺体系与厂务动力体系以及尾气废液处理体系 一起构成了工业企业的厂务体系，为工业企业的中心工艺设备工作供给支撑。高纯工艺 体系是相关制作业企业固定资产出资的重要组成部分，约占其固定资产出资总额的 5%- 8%，现在公司已包含高纯工艺体系及设备的规划、出产、装置调试，配套工程服务及系 统保护与检测、厂务保管的全进程，能够为客户供给全体处理方案。

　　现在职业界技能抢先且具有接受大项目实力与经历的本乡企业较少，出现出高等级 商场会集度较高、低等级商场较为涣散的竞赛格式。公司董事长蒋渊曾是职业龙头美国 凯耐第斯的我国区营销总监，团队技能堆集深沉，使得至纯的体系集成事务逐步完结进 口代替，树立了在国内高纯工艺范畴的龙头方位。

　　进军半导体清洗设备范畴，翻开新商场。公司于 2015 年开端发动湿法工艺设备研 发，2016 年景立院士工作站，2017 年树立全资子公司至微半导体，担任清洗设备的制 造及出售，2019 年起设备开端批量出货，现在公司的槽式清洗设备和单片式清洗设备均 能运用于 8 寸及 12 寸的晶圆。公司凭仗技能优势，敏捷堆集了中芯世界、北京燕东、 TI、华润等高端客户资源，2019 年湿法工艺设备新增订单总额达 1.7 亿元。现在公司启 东一期出产基地全面建成，已到达 48 套/年的产能，一二期共规划 96 套/年，产能问题将得到处理。

　　聚集半导体工业，有望充沛享用职业景气盈余。2016 年起，公司事务重心逐步倾向 半导体职业。2015-2018 年，公司半导体职业收入占比由 14%大幅添加至 65%，2019 年 因为经过收买波汇科技进军光传感器职业，导致半导体职业收入占比降至 38%。在国家 方针扶持和国产代替的趋势下，我国集成电路工业坚持快速添加，未来晶圆厂密布扩产 将对公司高纯工艺体系及湿法工艺设备发生很多需求。公司作为细分范畴龙头，与半导 体职业优质客户树立了安稳协作关系，咱们以为半导体事务将助力公司迎来新一轮添加。

　　运营收入坚持高增，新布局事务奉献首要添加。2015-2019 年，公司运营收入由 2.08 亿元添加至 9.86 亿元，复合添加率 47.6%，首要获益于半导体职业客户订单添加及波汇 科技收买完结后的报表兼并，其间 2019 年湿法工艺设备和光传感光电子事务别离奉献 0.82 亿元、2.65 亿元的收入。2019 年归母净赢利 1.1 亿元，同比大幅添加 240%，首要源于波汇科技并表的赢利奉献。公司 2020Q1 归母净赢利-0.15 亿元，同比-229.75%，首要原因为YQ导致公司在手订单无法实行。

　　新接订单逐年添加，未来成绩可期。依据公司年报发表，高纯工艺体系、湿法设备 的订单均逐年添加，此外 2019 年新增光电子事务也开端奉献可观收入。依据公司的订 单检验周期，咱们估计新接订单驱动下今明两年成绩添加可期。

　　事务结构优化拉动毛利率上升。2018 年公司毛利率大幅下降 10.83pct 至 28.19%， 首要系:(1)2017 年底公司开端进入先进制程的集成电路工业，为了切入全球一线客户， 公司报价给予扣头导致毛利率较低。(2)全球半导体职业扩张，引发半导体资料及零部 件供给严重，部分资料价格上涨。2019 年毛利率 34.35%，同比+6.16pct，首要系新拓宽 的湿法工艺设备及光传感器材事务毛利率较高，事务结构改进拉动毛利率持续上升。

　　费用管控杰出，研制开销持续添加。2016-2019 年公司费用率别离为 17.37%、19.79%、 18.88%，坚持在 19%上下动摇。2019 年费用率 22.48%，同比+3.60%，首要系事务扩张 及收买波汇科技并表导致出售费用率和财务费用率小幅添加，全体来看费用得到杰出管 控。2019 年研制开销 0.73 亿元，占总收入份额为 7.4%，同比+2pct，首要系湿法工艺设 备研制投入增大救助。

　　高纯工艺体系的产品首要包含:气体高纯工艺设备及体系、化学品高纯工艺设备及 体系、物料及水体系。经过操控高纯工艺介质(气体、化学品、水)的纯度，以完结其 制程精度要求，保证并进步产品良率。下流先进制作职业的高纯工艺体系直接影响了工 艺设备的运转及投产后的成品率。至纯科技作为高纯工艺体系全体处理方案供给商，其 事务现已包含高纯工艺体系及设备的规划、出产、装置调试，配套工程服务及体系保护 与检测、厂务保管的悉数进程。

　　高纯工艺体系广泛运用于泛半导体(集成电路、平板显现、光伏、LED 等)及生物 制药、食品饮料等范畴。作为下业新建、改建等固定资产出资的重要组成部分，客户对高纯工艺体系的出资额约占其总出资额的 5%~8%，因此下业的开展壮大会直接影响对本职业的需求。获益于下流需求添加，公司 2019 年高纯工艺体系的新增事务 订单总额约 8.8 亿元。

　　公司地点的高纯工艺体系职业需求的动力首要来自下业产能扩张以及因技能 前进带来的技能改造。

　　1)晶圆厂扩张新增产线，带动高纯工艺体系高需求。跟着半导体制程工艺的广泛 运用，高纯工艺体系的运用范围越来越广，半导体工艺中包含如掺杂、光刻、刻蚀、CVD 成膜等环节均需运用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，然后发生对高纯工艺体系的 很多需求。跟着国家集成电路工业扶持方针的出台与逐步落地，国内新晶圆厂及产线的 建造出资扩展。依据 IC Insights 的数据，2019 年我国晶圆制作商场规划为 113.57 亿美 元，同比+6%。依据公司年报发表，2019 年我国大陆已投产的晶圆产线 条，产能正 在爬坡的产线 条，正在建造的产线 条，规划建造的产线 条。国内晶圆产线的扩张带动高纯工艺体系服务的需求。

　　2)光伏职业或迎来下一轮添加周期。2013 年以来，在国家及各地区的方针驱动下， 太阳能光伏发电在我国出现迸发式添加。几年来硅料、硅片、电池片、组件等各环节均 完结不同程度的技能革新，带来各环节产品价格大幅下降，平价上网越来越近。咱们认 为跟着具有优秀功能的异质结(HIT)电池技能打破，光伏电池片有望进入新一轮技能 革新周期，若依照 5 亿/GW 的单位出资额来算，HIT 带来的设备出资空间有望超 500 亿。

　　3)Mini LED 是 LED 未来开展的重要范畴。Mini LED 现已具有批量出产才能。依据高工产研 LED 研讨所(GGII)研讨数据显现，2020 年 Mini LED 商场规划将达 37.8 亿元，同比添加 140%，而到 2021 年商场规划估计进步至 60.4 亿元，未来开展空间大。 Mini 直显有望在 2020 年将进入运用迸发时期，而 Mini 背光将跟着苹果的导入正式迎来 规划量产。

　　4)下流制药企业厂房设备新建及改造需求添加。2011 年卫生部公布了 GMP 新标 准，给予现有制药企业不超越 5 年过渡期，显着拉动了制药企业对厂房设备等改造及新 建的出资需求;跟着技能立异的加速及本钱很多涌入，产品生命周期和企业技改周期都 将显着缩短，新技能新产品的敏捷出现与遍及将催生很多的出产设备新建与改造出资需 求。

　　特别职业特色使得客户粘度较高。高纯工艺体系的规划是整个工厂规划中的一个重 要部分，泛半导体职业产品成品率的凹凸依靠于出产工艺进程中的不纯物操控，任何供 气毛病都会带来较大的经济损失;因为高纯介质自身的特性，对高纯工艺体系好坏的判 断无法经过一次性检验完结，下流客户对其供给商的挑选只能依靠于体系长冷清运转的数 据和长冷清协作的前史经历。因此本职业的下流客户对优质供给商有较高的忠诚度、客户 粘性高，简单构成对长冷清协作的优质供给商的依靠，然后为新进入企业设置了较高的客户壁垒。

　　泛半导体的开展对高纯工艺体系提出更高的技能要求。高纯工艺体系职业从诞生开 始就具有多学科穿插的特色，需求物理、化学、机械、电子等多门学科的布景常识。 随 着下业的技能开展，客户对出产工艺中不纯物污染的操控要求从百万分之一(ppm)、 十亿分之一(ppb)进步到了现在的万亿分之一(ppt)。不断进步的操控水平对高纯工艺 体系的规划、出产、装置、检测、数据剖析都提出了更高的技能要求。现在，国内企业 首要以供给机电设备装置服务为主，大部分企业因技能原因无法进入专用体系的规划与 出产范畴、数据检测与剖析范畴。

　　世界厂商占有干流。以外资企业为首要客户的世界供给商不只具有先进的技能，而 且和下业中的跨国企业树立了杰出的协作关系。跟着下业在我国的开展，高纯 工艺体系的世界供给商也随之将事务扩展至我国，首要以美国凯耐第斯公司、台湾帆宣 体系科技股份有限公司为代表。因为其出售的高纯工艺体系价格较高，绝地在国内的人 力、出产资源有限，世界供给商一向以大陆的美国企业或台湾企业为首要客户，单项业 务规划较大，在半导体职业等大型项目上仍占有首要份额。

　　本乡干流供给商的竞赛方位不断增强。现在部分本乡供给商的产品和服务现已顺畅 进入全球一线客户，正逐步完结进口代替。职业界技能抢先且具有接受大项目实力与经 验的本乡企业较少，可是全体的商场占有率持续进步。下业的优胜劣汰将带动高纯 工艺体系职业的优胜劣汰，职业会集度会显着进步，本乡干流供给商的竞赛方位将不断 增强。

　　公司高纯工艺体系国内龙头方位逐步安定，估计未来可坚持年化 10%-20%的复合添加。现在职业界技能抢先且具有接受大项目实力与经历的本乡企业较少，出现出高等级商场会集度较高、低等级商场较为涣散的竞赛格式。公司董事长蒋渊曾是职业龙头凯 耐第斯的营销总监，技能堆集深沉，使得至纯粹逐步完结进口代替，树立了在国内高纯 工艺范畴的龙头方位。且凭仗泛半导体职业的客户根底，为公司后来切入半导体设备等 事务板块，供给了技能和客户优势。

　　作为本乡供给商，至纯科技深耕高纯工艺体系，在客户资源、技能堆集方面均获得 了必定优势。2018 年公司完结上海华力 12 英寸 28nm 先进工艺产线的建造，验证了公 司服务半导体先进工艺的技能才能，树立了公司在国内高纯工艺体系范畴的龙头方位。

　　1)客户优势:公司经过多年的经历堆集和技能开发，产品和服务不断完善，在职业 中构成了杰出的口碑和诺言，堆集了一批高端客户和协作伙伴，且根本为各自职业的领 军企业或首要企业。半导体范畴客户有上海华力、中芯世界、长江存储、合肥长鑫、士 兰微、西安三星、无锡海力士等很多职业一线客户;光伏职业客户有英利、协鑫集成、 通威股份等;在医药范畴范畴获得了百特、君实生物、迈瑞、宝洁、康弘、金霸王等国 际和国内头部制药及个人护理范畴用户的订单。

　　2)人才与技能优势:公司构成了以高纯工艺介质提纯、分配、运送和处理，以及以 不纯物操控为中心的技能体系，公司高纯工艺体系现已能够完结 ppb(十亿分之一)级 的不纯物操控，中心技能强于国内竞赛者。公司树立了自主研制的科研立异体系，具有 上海市市级企业技能中心，下设联合实验室，绝地旗下设有 2 个院士专家工作站(半导 体范畴和光电子范畴);到 2019 年底，公司已申请专利 328 项(其间发明专利近 121 项)，已授权专利 218 项(其间发明专利 55 项)，软件著作权近百项。

　　竞赛对手方面，国内与至纯科技运营形式完全相同或根本掩盖本公司事务范围的公 司较少。现在能获得揭露财务数据的国内公司中，只要朗脉股份(已被常铝股份兼并)、 正帆科技与公司的事务最为附近，而朗脉股份的洁净体系事务仅针对医药职业。世界供 应商包含台湾上市公司帆宣科技、汉唐集成。

　　本乡企业起步晚，营收规划较世界厂商仍有距离。世界供给商布局较早，与优质客 户树立了杰出的协作关系。2018 年帆宣科技、汉唐集成营收别离为 244.16 亿新台币(49.4 亿人民币)、181.28 亿新台币(36.7 亿人民币);而本乡干流供给商限于起步较晚，处于 追逐者的人物，至纯科技、正帆科技 2019 年营收别离为 9.86、11.9 亿元，不及世界厂 商。

　　供给全体处理方案+设备/软件克己，至纯科技毛利率高于竞赛对手。2016~2019 年， 公司的毛利率坚持在 26%以上，高于正帆科技、朗脉股份(常铝股份医疗洁净事务)， 显着高于台湾帆宣科技、汉唐集成。一方面是因为公司以技能难度较高的电子类高纯工 艺体系发家，能为客户供给全体处理方案，在高纯工艺体系和增值服务范畴获得较高利 润率，绝地运用自身的品牌、技能、办理优势完结单个企业在不同下业间的切换， 将自身盈余才能坚持在较高水平;另一方面公司经过运用克己设备与软件代替外购，有 效下降了出产本钱。未来跟着半导体高价值订单的添加，高纯工艺体系盈余质量有望进 一步进步。

　　除了主业高纯工艺体系安稳添加外，公司 2015 年开端发动半导体湿法工艺设备研 发，2016 年起事务重心逐步倾向半导体职业。经过优势事务高纯工艺在半导体范畴的应 用切入下流晶圆厂，为新事务半导体清洗设备的开展做好客户衬托。2019 年半导体清洗 设备已完结批量出货，并构成 8166 万收入。

　　全球半导体商场回暖，下流运用带来新一轮景气周期。据 WSTS 计算，2019 年全 球半导体出售额为 4090 亿美元，同比-12.8%。首要系全球买卖动乱及产品价格周期性 要素救助。其间内存产品出售额下降显着，2019 年同比下降 32.6%，首要原因为内存市 场供给过剩导致定价下降。依据 SIA 数据计算，2020M1-M3 全球半导体出售额同比- 0.30%、+5.00%、+6.90%，回暖趋势显着。全球半导体买卖计算协会(WSTS)指出，随 着 5G 导入带动各种服务扩展，以及车辆持续电子化，2020 年全球半导体出售额有望重 回添加，预估将年增 5.5%。

　　我国半导体设备职业穿越周期，逆势上升。2019 年在全球半导体职业景气承压的情 况下，我国半导体设备出售额达 134.5 亿美元，同比+19.0%。我国大陆地区半导体设备 商场占全球商场比重逐年进步，2013-2019 年，我国半导体设备出售额占比由 10.6%增 长至 22.5%，据 SEMI 猜测，2021 年我国占比将达 24.6%，成为全球最大半导体设备市 场。参照半导体工业前史，逆周期投入是缩短工业距离的最佳时点;2019 年我国大陆已 投产的晶圆产线 条，产能正在爬坡的产线 条，正在建造的产线 条，规划建造 的产线 条，估计未来三年将密布投产，带来设备需求迸发。

　　国外技能封闭力度加大，设备国产化需求益发激烈。随同中美冲突晋级，美国进一 步加大对我国的半导体技能出口约束。5 月 15 日，台积电宣告将在美国出资 120 亿美元 树立晶圆厂，出产 5nm 芯片，对华为等国内下流客户带来较大的供给链危险。在此信号 下，国内晶圆厂新建产线更倾向削减国外设备份额，现在国内湿法设备国产化率缺乏 10%，龙头有望借国产化机会敏捷扩张。

　　清洗设备在半导体设备商场中价值量占比约 5-6%，相较光刻、刻蚀等中心设备价 值量较低，绝地技能门槛较低，比较简单首要完结全面国产化。依据 SEMI 数据，2015 年全球半导体清洗设备商场规划为 26 亿美元，估计 2020 年将达 37 亿美元，复合添加 率为 7%。咱们估计我国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在 15-20 亿美元，到 2023 年清洗机的国产化率可达 40%-50%，即国产设备的商场空间在 40-70 亿元;且估计未来 12 寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是商场的首要增量。其间单片式清洗机范畴公司 有望成为少量几家具有中心技能的国产设备商。

　　清洗为半导体制程重要环节，是影响器材成品率及可靠性最重要的要素之一。为减 少杂质对芯片良率的影响，实践出产中不只需求进步单次清洗功率，还需求在简直一切 制程前后都进行频频的清洗，清洗进程约占全体进程的 1/3。例如，在单晶硅片制作阶 段，需求清洗抛光后的硅片，保证其标明平整度和功能;在进程工艺阶段，需求在刻蚀、 化学堆积、去胶等要害工艺前后进行清洗，去除工艺进程中硅片感染的化学杂质，减小缺陷率;在封装阶段，需依据封装工艺进行 TSV 清洗、UBM/RDL 清洗等。

　　集成电路制程晋级，清洗环节重要性日益凸显。跟着半导体芯片工艺技能的开展， 工艺技能节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级，工艺流程不断延伸且越趋杂乱，产 线成品率也会随之下降。形成这种现象的一个原因便是先进制程对杂质的灵敏度更高， 小尺度污染物的高效清洗更困难。处理的办法首要是添加清洗进程，晶圆清洗将变得更 加杂乱、重要及赋有挑战性。

　　以海力士内存为例，28nm 制程中一共需求 500-600 个工艺，清洗工艺有近 200 道 (其间中心的清洗工艺有 40-50 道)。跟着制程先进工艺越来越先进，在 20nm 之后，所 需的清洗步数会越来越多，冷清越来越长，对设备自身的功能要求也越来越高。依据立 鼎工业研讨网的预算，16nm 技能节点工艺进程约为 1000 步，7nm 技能将超越 1500 步。

　　实践运用进程中，客户最注重的是清洗机的清洗良率，即 PRE(颗粒去除率)。100 颗颗粒，清洗掉 90 颗，良率便是 90%。到 28nm 以下工艺节点，良率 80%与 85%就能 表现距离;虽然只进步 3-5 个百分点，但关于一个晶圆工厂来说，一个点的进步就或许是每月几十至几百万美金的本钱节省。

　　跟着芯片制作工艺先进程度的持续进步，槽式清洗设备无法满意 28nm 及以下技能 节点要求，清洗技能逐步从槽式清洗改变为单片清洗。这一改变大幅度添加了硫酸耗费 量，使得现在对硫酸废液的处理引发了一系列安全问题和环境问题。现在的强酸强碱药 液根本被日本厂商独占，本钱昂扬。假如清洗设备的良品率高，就意味着节省耗材清洗 药液，故将会具有很强的竞赛优势。

　　依据盛美招股书显现，盛美收买的清洗机原资料首要包含了气路类、物料传送类、机械类、电气类等，各个类别的原资料的构成状况如下:

　　半导体专用设备职业归于典型技能密布型职业。触及微电子、电气、机械、资料、 化学工程、流体力学、自动化、图像识别、通讯、软件体系等很多学科范畴，具有较高 的技能研制门槛。清洗设备出产厂家对原资料和零部件的质量质量有着苛刻的要求，高 精密度、高质量、高可靠性的原资料和零部件是半导体专用设备功能和安稳性的重要保 障。

　　依据咱们的工业链调研，机械臂，操控体系，兆声波发生器，传感器，高精度的泵 和阀均为现在无法完结国产化的中心零部件，是限制半导体清洗设备全面国产化的难度 地点。

　　依照清洗原理来分，清洗设备可分为干法清洗设备和湿法清洗设备。湿法工艺是指 运用腐蚀性或氧化性较强的溶剂进行喷雾或擦拭，使硅标明的杂质与溶剂发生化学反响， 生成可溶性物质或气体，然后将晶圆标明的颗粒或其他金属离子清洗掉。干法工艺指不 运用化学试剂的清洗技能，包含等离子清洗、气相清洗等。在实践出产进程中一般将两 种办法结合运用，现在 90%以上的清洗进程以湿法设备为主，少部分特定站点运用干法 清洗来进步清洗功率。至纯科技首要出产湿法清洗设备。

　　依照绝地清洗晶圆的数量来分，清洗设备可分为槽式清洗和单片式清洗。槽式清洗 是将多片晶圆(一般为 100-200 片)放入清洗槽中，会集清洗，此类清洗机功率高，成 本低缺陷是浓度较难操控，或许发生穿插污染等。单片式清洗是将每一片晶圆送至各个 腔体进行独自喷淋式清洗，这样简单操控清洗质量，也可进步单片晶圆不同方位的清洗 均匀度，但清洗功率较低。

　　清洗工艺晋级推进单片式清洗机对槽式清洗机的代替。在 45nm 工艺周期到来时， 批量清洗因为穿插污染、清洗均匀可控性和后续工艺相容性差等问题已无法习惯新的清 洗要求，单片式清洗开端代替批量清洗。单片式清洗首要能够在整个制作周期供给更好的工艺操控，即改进了单个晶圆和不同晶圆间的均匀性，这进步了良率;其次更大尺度 的晶圆和更紧缩的制程规划关于杂质更灵敏，批量清洗中若出现穿插污染的影响会更大， 然后危及整批晶圆的良率，这会带来高本钱的芯片返工开销;别的圆片边际清洗作用更 好，多种类小批量出产的适配性等长处也是单片式清洗的优势之一。到 2016 年，单 片式清洗商场份额约占多半，槽式清洗设备约占两成。现在公司槽式设备已有批量重复 订单，单片式于 2019 年中已进行客户验证，估计 2020 年单片式清洗设备将开端奉献规 模收入。

　　现在我国商场首要湿法设备厂商以日本和欧美为主，本乡设备商首要有至纯科技、 北方华创和盛美半导体，但三家算计商场份额不到 10%。现在来看，盛美半导表现在主 要产品是单片式清洗设备，至纯科技的单片式清洗设备正在客户验证阶段，北方华创和 至纯科技现在仍首要以槽式清洗为主，三者中心产品存在差异，正面竞赛较少。

　　近年国产设备中标占比显着上升，国产清洗设备龙头迎前史机会。咱们计算了 2019 年以来国内首要晶圆代工厂的清洗设备投标状况:华力二期累计开释 26 台清洗设备， 国产化率 19%，其间盛美半导体和沈阳芯源别离中标 3 台、2 台清洗设备;长江存储累 计开释 20 台清洗设备，国产化率 35%，盛美半导体和姑苏芯矽别离中标 5 台、2 台清 洗设备。2019 年至纯科技获得中芯、德州仪器、燕东、华润的湿法设备重复订单，新增 华虹集团 ICRD、台湾力晶、中车、华为等用户，客户拓宽状况杰出。到 2019 年底， 至纯科技已获得近 40 台正式订单，其间包含 12 寸单片设备订单。现在公司设备现已具 备国产代替才能，未来有望凭借国产化趋势持续扩展订单量。

　　我国国内的半导体清洗设备的首要厂家有三家，体量都不大，别离是盛美半导体， 北方华创和至纯科技。盛美股份 2019 年收入为 7.57 亿元，净赢利为 1.35 亿元。产品主 要是单片式清洗设备，占比总收入的 72.81%，槽式清洗机设备占比总收入的 6%。北方 华创首要清洗设备产品为单片及槽式清洗设备，可适用于技能节点为 65nm、28nm 工艺 的芯片制作。其间，北方华创自有低端的单片清洗设备，并经过收买美国 Akrion 完结了 槽式清洗设备的国产化。北方华创 2019 年收入 40.58 亿元，净赢利 3.09 亿元。清洗机 事务大约占比北方华创总收入的 5%左右。

　　盛美半导体在国内半导体清洗职业单片式范畴市占率为榜首。产品线最为丰厚，具 有显着技能优势。其 SAPS、TEBO 技能使兆声波能量均匀散布在晶圆上，防止其对晶 圆电路的危害，绝地又进步了清洗作用。北方华创和至纯科技首要以槽式清洗为主，至 纯科技的单片式清洗设备正在客户验证阶段，现在三者中心产品存在差异，正面竞赛较 少。

　　至纯科技是单片式清洗机的后进入者，但团队技能实力强。现在在国内商场，各晶 圆代工厂首要产线nm 以上，至纯科技刚切入单片式范畴，首要是定制个 性化单片式清洗设备，现在足以满意各代工厂的需求。

　　2015 年，至纯科技开端布局半导体清洗设备研制。在细分范畴上，至纯科技首要研 发方向为 14nm 单晶圆和槽式清洁设备。公司产品腔体、设备渠道规划与工艺技能都和 世界湿法设备厂商道路共同，选用先进二流体发生的纳米级水颗粒技能，能高效去除微 粒子的绝地，还能够防止兆声波的高本钱。公司现已具有出产 8-12 寸高阶单晶圆湿法 清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技能，能够掩盖包含晶圆制作、先进封装、太阳能 在内多个下业的商场需求，且现已获得中芯世界、北京燕东、TI、华润等一线客户 的订单。跟着国内工业出资量的迅猛添加，我国湿法清洗机台的国产化率将不断进步， 以增强半导体自主可控才能，至纯科技有抢占国内商场的才能。

　　技能储备充沛，上市后研制投入显着上升。2019 年公司研制开销 0.59 亿元，同比 +61.94%，占总收入份额到达 5.99%。到 2019 年底，公司研制人员数量达 202 人，同 比大幅添加 165.8%。人才办理方面，公司选用扁平化办理，以成果为导向的筛选机制， 股权鼓励与薪资偏重的待遇方针，有用增强团队凝聚力与活跃性。

　　在技能储备上，公司持续投入资源开发契合高阶工艺运用的设备(如多反响腔、18 腔等)。公司从 2017 年高密度投入槽式配备和单片配备的研制，构成了上海紫竹研制 中心、启东工厂和日本、韩国、台湾子公司联动的高能研制及制作团队。至 2019 年底， 现已完结了多个工艺的 8 英寸及 12 英寸全自动槽式配备，8 英寸及 12 英寸 4 腔单片装 备，12 英寸 12 腔先进工艺单片配备的研制及制作，在 4 类工艺配备范畴获得送审专利 55 件，方案送审专利 40 多件。

　　估计至纯科技未来订单可观。2018 年，至纯科技清洗设备工厂正式投产，湿法清洗 设备便已获得了中芯、万国、TI、燕东、华润等用户总额达 1700 万美元(合人民币 1.1 亿)的订单。全体来看，国内企业 2019 年关于清洗设备的总需求在 400 台以上，未来 有望在清洗设备赛道快速开展。2019 年 5 月，至纯科技榜首台清洗设备现已完结交给。

　　波汇科技首要事务为光传感运用及相关光学元器材的研制、出产和出售。公司作为 职业界少量具有笔直集成制作才能的厂商之一，具有从根底光学元器材(光学滤光片、 激光管帽等)、传感设备和体系到数据剖析和运用集成软件渠道的研制和规划化出产能 力。公司光传感范畴客户有国家电网、南方电网、我国石油、华为、霍尼韦尔等;光通 信范畴，公司与石家庄麦特达电子科技有限公司、瑞谷光网、储翰科技等知名企业树立 了杰出的协作关系。2019 年至纯科技光电子板块的新增事务订单总额达约人民币 3.7 亿。

　　至纯科技于 2019 年 3 月完结对波汇科技的收买，此次买卖成绩许诺方许诺，在业 绩许诺期即 2018-2020 年扣非归母净利在扣实践运用征集资金发生的效益后别离不低于 人民币 3200 万元、4600 万元、6600 万元。波汇科技 2018-2019 年的成绩许诺均得到了 有用实行。2019 年波汇科技完结营收 2.7 亿元，净赢利 6268 万元，扣非归母净利在扣 除实践运用征集资金发生的效益后为 4991 万元，成绩方针完结率 109%。

　　光传感技能作为传感器技能的重要新式分支，归于工业物联网的感知和输入部分。

　　在未来的物联网中，光传感技能及其组成的传感网络将在物联网的感知端发挥重要的作 用。依据我国电子元件职业协会信息中心的数据，2016 年，全球光传感器商场规划达 1370 亿元。近年来，在才智城市、物联网、智能移动终端、智能制作、机器人、智能电 网、石油石化、新动力等下流运用商场的推进下，我国光传感器商场快速生长，成为拉 动全球光传感器商场添加的首要力气。2016 年，我国光传感器商场规划达 778 亿元，约 占全球商场规划的 57%。估计到 2022 年，全球光传感器商场规划将生长至 1836 亿元， 2016-2022 年复合添加率达 5%，我国光传感器商场规划将生长至 1180 亿元，2016-2022 年复合添加率达 7%。

　　收买波汇科技，协同功效有利于公司活跃向光电传感及光电子元件器的新式下流产 业链延伸。波汇科技首要从事光传感器及相关光学元器材的研制、出产及出售。该收买 有利于发挥事务协同效应，绝地不会与现在收入赢利的首要来历集成电路和分立器材领 域的客户竞赛，有利于公司进一步进步持续盈余才能，有用进步上市公司的产品竞赛力 和商场空间:

　　至纯科技首要为电子、生物医药等职业的先进制作业企业供给高纯工艺体系的全体 处理方案，其已具有半导体工艺制程中心出产技能;波汇科技首要从事光传感及光电子 元器材的研制、出产和出售，其已具有抢先的光电子范畴中心技能。本次重组至纯科技 将以波汇科技光电子技能为支点，完结向下流光电子器材范畴的进一步延伸，绝地也是 至纯科技高纯工艺体系未来开展的必经方向;波汇科技的光电子技能和至纯科技的半导 体出产工艺将有用结合，完结光电子中心芯片和器材批量化出产。

　　至纯科技经过在高纯工艺体系及工艺制程设备中运用波汇科技的光传感技能，完结 对温度、压力、溶液浓度、液体走漏、气体浓度等多参数监测，进一步进步公司高纯工 艺体系的商场竞赛方位。绝地，上市公司可在出产体系及设备运营进程中，结合波汇科 技的智能算法及软件渠道建造等技能才能，加强对出产线出产状况信息的实时收集和数 据剖析，会聚出产数据并进行智能决议计划，进步出产功率和质量，然后进步至纯科技产品 附加值;此外，至纯科技能够将波汇科技光纤传感监测产品运用在厂务配套事务的安防 监控范畴，进一步为客户供给完好的智能厂务配套服务，晋级完结工业智能化。

　　1)高纯工艺体系:公司近两年新接订单出现稳步添加的趋势， 2019 年新接订单 8.8 亿，估计大部分将在 2020 年承认收入;绝地在公司年报中清晰的五年规划中，目 标这块事务每年新接订单超 10 亿。跟着国内晶圆厂开端进入大规划新建扩产周期， 对出产线前端的高纯工艺体系的需求进步，咱们估计未来几年公司高纯工艺事务收 入将稳步添加，毛利率水平坚持在 27%左右。

　　2)光线 年的方针是运用泛在电力物联网的发力持续加大电力 职业拓宽，运用先进技能运用在石油石化和才智城市生命线建造和研制的大好机会 坚持该细分范畴的事务高速开展，加大光器材的事务总量。咱们估计未来几年这块事务将以 20%左右的复合增速稳步添加，毛利率水平坚持在 50%左右。

　　3)半导体设备:2019 年新接订单 1.7 亿，咱们估计大部分将在 2020 年承认收入。 绝地跟着公司设备鄙人流客户的验证以及新建产能的达产，咱们估计未来几年半导 体清洗设备事务将出现高速添加态势。现在公司启东一期出产基地全面建成，已达 到 48 套/年的产能，一二期共规划 96 套/年，公司于 2019 年 12 月发行可转债，募 资 3.56 亿元投入槽式和单片式清洗设备的出产制作。项目估计在 2022 年达产，预 计开始可奉献最高达 9 亿元的清洗机事务的收入规划。此外设备的放量也将带来毛 利率水平的进步，参阅国内清洗设备企业盛美半导体的毛利率水平(根本安稳在 45% 以上)，咱们以为公司清洗设备的毛利率水平还有较大改进空间。